・走査電子顕微鏡群（EDS付き）・イオンコータ
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最終更新日：2024年8月29日
| 設備ID | GA-006 |
|---|---|
| 分類 | > |
| 設備名称 | ・走査電子顕微鏡群（EDS付き）・イオンコータ (・Electron scanning microscope (EDS)・Ion Coater) |
| 設置機関 | 香川大学 |
| 設置場所 | 香川大学 創造工学部 |
| メーカー名 | ・日本電子 (・JEOL) |
| 型番 | ・JSM-6060-EDS・ JFC-1600 |
| キーワード | ナノ・マイクロ領域の三次元形状測定 元素分析 |
| 仕様・特徴 | ・走査電子顕微鏡 分解能:5nm 倍率:×8～300,000 照射電流:1 pA ～0.3 mA 試料台:2.5インチ 加速電圧：0.5～30kV EDS元素分析 ・イオンコータ ターゲット : Pt |
| 設備状況 | 共用を終了した設備です |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=GA-006 |
