触針式表面形状測定器
| 設備ID | GA-005 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
| 装置名称 | 触針式表面形状測定器 (Stylus-type surface shape measuring system) |
| 設置機関 | 香川大学 |
| 設置場所 | 香川大学 創造工学部 |
| メーカー名 | アルバック (ULVAC) |
| 型番 | Dektak8 |
| キーワード | レジストや薄膜の厚みや,エッチングによる段差構造等の表面形状測定 段差計 Step meter |
| 仕様・特徴 | 測定分解能:最小:0.1nm 垂直分解能/レンジ：1Å/65kÅ、10Å/655kÅ、40Å/2620kÅ サンプルサイズ：直径210mm 測定長さ：50μm〜50mm 最大サンプリング数：30,000点 測定加重：1〜15mg 自動多点測定数：最高200点 サンプル観察： トップビュー（低倍率カラー）10mm サイドビュー（高倍率カラー）1mm 測定再現性:1nm以下 |
