スピンコータ－
| 設備ID | GA-003 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > レジスト処理装置 |
| 装置名称 | スピンコータ－ (Spin-coater) |
| 設置機関 | 香川大学 |
| 設置場所 | 香川大学 創造工学部 |
| メーカー名 | ミカサ (MIKASA) |
| 型番 | MS-B150 |
| キーワード | レジスト等の樹脂材料の塗布 コーター（スピン、ディップ、スプレイなど） Coater |
| 仕様・特徴 | 回転塗布式 １ヘッド 真空吸着方式 試料サイズ：最大154mmφ1mmt 回転数：300–7000r.p.m 回転精度：±1r.p.m 回転時間：最大999.9sec（合計） 回転制御：プログラム方式・最大100段入力可 |
