i線ステッパ
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-063 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > 光露光（ステッパ） |
| 設備名称 | i線ステッパ (i-line stepper) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | キヤノン (Canon) |
| 型番 | FPA-3030i5+ |
| キーワード | 高精度・高速露光 多目的で利用できるi線ステッパ |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～8インチ 対応オリフラ(OF)：4と6インチはOF(JEITA/SEMI)、8インチはノッチ カセットtoカセット 波長：365nm 最小露光線幅：0.35μm以下 重ね合せ精度 ：40nm レチクル：6インチ（6025） 両面アライメント対応、透明基板対応、反り基板対応、Nikonレチクル対応 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-063 |
