ダイサー
最終更新日：2024年4月10日
| 設備ID | RO-601 |
|---|---|
| 分類 | 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ |
| 設備名称 | ダイサー (Dicing Saw) |
| 設置機関 | 広島大学 |
| 設置場所 | 西棟１F |
| メーカー名 | ディスコ (DISCO Corporation) |
| 型番 | DAD322 |
| キーワード | |
| 仕様・特徴 | 最大6インチまで対応可。 Si, SiO2, SiCウェハ等のダイシング用。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=RO-601 |
