表面段差計
最終更新日：2024年4月10日
| 設備ID | RO-534 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
| 設備名称 | 表面段差計 (Profilometer) |
| 設置機関 | 広島大学 |
| 設置場所 | CR東棟１F |
| メーカー名 | BRUKER (BRUKER) |
| 型番 | Dektak XT-E |
| キーワード | |
| 仕様・特徴 | 対応wafer：４inch以下 垂直範囲：10nm～1mm、 垂直解像度：最高0.1nm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=RO-534 |
