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原子間力顕微鏡

設備ID	RO-533
分類	走査型顕微鏡 > 走査型プローブ顕微鏡
装置名称	原子間力顕微鏡 (AFM)
設置機関	広島大学
設置場所	CR西棟地下
メーカー名	セイコーインスツルメンツ (Seiko Instruments Inc.)
型番	SPI3800
キーワード
仕様・特徴	分解能：z:0.01nm, Ｘ、Ｙ：0.1nm, 視野：最小5nm角、最大 20μm角、