干渉式膜厚計
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | RO-532 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 膜厚測定 |
| 設備名称 | 干渉式膜厚計 (Spectroscopic reflectometer) |
| 設置機関 | 広島大学 |
| 設置場所 | CR西棟１F |
| メーカー名 | ナノメトリクスジャパン (Nanometrics Inc) |
| 型番 | AFT 5000 |
| キーワード | |
| 仕様・特徴 | 可視光及び紫外光光源、多層膜対応解析ソフト搭載。 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=RO-532 |
