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干渉式膜厚計

設備ID	RO-532
分類	膜厚・粒度測定 > 膜厚測定
装置名称	干渉式膜厚計 (Spectroscopic reflectometer)
設置機関	広島大学
設置場所	CR西棟１F
メーカー名	ナノメトリクスジャパン (Nanometrics Inc)
型番	AFT 5000
キーワード
仕様・特徴	可視光及び紫外光光源、多層膜対応解析ソフト搭載。