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分光エリプソメーター

設備ID	RO-531
分類	膜厚・粒度測定 > エリプソメーター
装置名称	分光エリプソメーター (Spectroscopic ellipsometer)
設置機関	広島大学
設置場所	CR東棟１F
メーカー名	J.A. Woollam Japan (J.A. Woollam Japan)
型番	M2000-D
キーワード
仕様・特徴	測定可能最小膜厚10nm,分光波長範囲193～1000nm、