分光エリプソメーター
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | RO-531 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > エリプソメーター |
| 設備名称 | 分光エリプソメーター (Spectroscopic ellipsometer) |
| 設置機関 | 広島大学 |
| 設置場所 | CR東棟１F |
| メーカー名 | J.A. Woollam Japan (J.A. Woollam Japan) |
| 型番 | M2000-D |
| キーワード | |
| 仕様・特徴 | 測定可能最小膜厚10nm,分光波長範囲193～1000nm、 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=RO-531 |
