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薄膜構造評価X線回析装置(XRD)

設備ID	RO-526
分類	回折・散乱 > X線回折
装置名称	薄膜構造評価X線回析装置(XRD) (X-ray diffraction spectrometer)
設置機関	広島大学
設置場所	東棟２F
メーカー名	リガク
型番	ATX-E
キーワード
仕様・特徴	角度分解能 0.0002度(2θ)