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薄膜構造評価X線回析装置(XRD)

最終更新日:2022年4月9日
設備ID RO-526
分類 回折・散乱 > X線回折
設備名称 薄膜構造評価X線回析装置(XRD) (X-ray diffraction spectrometer)
設置機関 広島大学
設置場所 東棟2F
メーカー名 リガク
型番 ATX-E
キーワード
仕様・特徴 角度分解能 0.0002度(2θ)
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=RO-526
    薄膜構造評価X線回析装置(XRD)
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