蛍光X線分析装置(XRF)
最終更新日：2024年4月10日
| 設備ID | RO-524 |
|---|---|
| 分類 | 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > 蛍光分光 |
| 設備名称 | 蛍光X線分析装置(XRF) (XRF) |
| 設置機関 | 広島大学 |
| 設置場所 | CR西棟１F |
| メーカー名 | リガク |
| 型番 | ZSX-400 |
| キーワード | 波長分散型 |
| 仕様・特徴 | 対応wafer：１２inch以下 波長分散型XRF 金属などの組成分析 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=RO-524 |
