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蛍光X線分析装置(XRF)

設備ID	RO-524
分類	状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > 蛍光分光
装置名称	蛍光X線分析装置(XRF) (XRF)
設置機関	広島大学
設置場所	CR西棟１F
メーカー名	リガク
型番	ZSX-400
キーワード	波長分散型
仕様・特徴	対応wafer：１２inch以下波長分散型XRF 金属などの組成分析