二次イオン質量分析装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | RO-523 |
|---|---|
| 分類 | 質量分析 > 四重極質量分析 |
| 設備名称 | 二次イオン質量分析装置 (SIMS) |
| 設置機関 | 広島大学 |
| 設置場所 | 西棟１F |
| メーカー名 | アルバックファイ (ULVAC-PHI, Inc.) |
| 型番 | SIMS6650 |
| キーワード | |
| 仕様・特徴 | Cs,Oガン装備四重極型質量分析機、 一次イオン最小加速エネルギー1keV |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=RO-523 |
