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半導体パラメータアナライザ

設備ID	RO-512
分類	デバイス特性 > 電気特性評価
装置名称	半導体パラメータアナライザ (Semiconductor Parameter Analyzer)
設置機関	広島大学
設置場所	東棟４F
メーカー名	アジレント (Agilent)
型番	4156他
キーワード
仕様・特徴	トランジスタ特性測定（HP4156、プローバ含む）、電源3ユニット、最小測定電流0.1pA