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プローバ

設備ID	RO-511
分類	デバイス特性 > 電気特性評価
装置名称	プローバ (High-temperature manual probe station)
設置機関	広島大学
設置場所	東棟４F
メーカー名	日本マイクロニクス (Micronics Japan)
型番	C-51
キーワード	マニュアルプローバ
仕様・特徴	解析・評価を行うためのマニュアルプローバ