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エッチング装置(レジスト Ashing用)

設備ID	RO-416
分類	膜加工・エッチング > プラズマエッチング
装置名称	エッチング装置(レジスト Ashing用) (Asher)
設置機関	広島大学
設置場所	CR西棟１F
メーカー名	神戸製鋼 (Kobe Steel, Ltd.)
型番
キーワード	レジスト除去、アッシング
仕様・特徴	対応wafer：２inch、cut wafer O₂, N₂使用可能レジストアッシング用