スピン乾燥機
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-061 |
|---|---|
| 分類 | 表面処理・洗浄 > ウェット処理 |
| 設備名称 | スピン乾燥機 (Spin dryer) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | 東邦化成 (Toho Kasei) |
| 型番 | ZAA-4 |
| キーワード | 平置き式でウェハやフォトマスクの乾燥 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～7インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-061 |
