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現像ドラフト

設備ID	TU-060
分類	リソグラフィ > レジスト処理装置表面処理・洗浄 > ウェット処理膜加工・エッチング > ウェットエッチング
装置名称	現像ドラフト (Draft chamber for development)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	- (-)
型番	-
キーワード	レジスト現像用のドラフトチャンバー
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～8インチ