現像ドラフト
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-060 |
|---|---|
| 分類 |
リソグラフィ > レジスト処理装置 表面処理・洗浄 > ウェット処理 膜加工・エッチング > ウェットエッチング |
| 設備名称 | 現像ドラフト (Draft chamber for development) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | - (-) |
| 型番 | - |
| キーワード | レジスト現像用のドラフトチャンバー |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～8インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-060 |
