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スプレー現像装置

設備ID	TU-059
分類	リソグラフィ > レジスト処理装置表面処理・洗浄 > ウェット処理膜加工・エッチング > ウェットエッチング
装置名称	スプレー現像装置 (Spray developer)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	アクテス (Actes)
型番	ADE-3000S
キーワード	現像液とリンス（水）をノズルから噴霧
仕様・特徴	サンプルサイズ：3～6インチ