スプレー現像装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-059 |
|---|---|
| 分類 |
リソグラフィ > レジスト処理装置 表面処理・洗浄 > ウェット処理 膜加工・エッチング > ウェットエッチング |
| 設備名称 | スプレー現像装置 (Spray developer) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | アクテス (Actes) |
| 型番 | ADE-3000S |
| キーワード | 現像液とリンス（水）をノズルから噴霧 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：3～6インチ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-059 |
