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酸化炉

設備ID	RO-221
分類	熱処理・ドーピング > 酸化
装置名称	酸化炉 (Oxidation furnaces)
設置機関	広島大学
設置場所	CR西棟１F
メーカー名	東京エレクトロン (Tokyo Electron)
型番
キーワード	ドライ酸化、パイロジェニック酸化
仕様・特徴	対応wafer：２inch、cut wafer 最高使用温度1150℃ ドライ酸化、パイロジェニック酸化