共用設備検索

レイアウト設計ツール

設備ID	RO-131
分類	リソグラフィ > その他
装置名称	レイアウト設計ツール (Mask layout design tool)
設置機関	広島大学
設置場所	東棟
メーカー名	Tanner (Tanner)
型番	L-Edit
キーワード
仕様・特徴	リソグラフィマスク設計用レイアウトエディターＩＣ，ＭＥＭＳデバイス設計用ソフト。Tanner社L-Edit