スピンコータ
最終更新日：2024年4月9日
| 設備ID | RO-121 |
|---|---|
| 分類 |
リソグラフィ > レジスト処理装置 成膜装置 > コーター（スピン、ディップ、スプレイなど） |
| 設備名称 | スピンコータ (Spin Coater) |
| 設置機関 | 広島大学 |
| 設置場所 | CR西棟１F |
| メーカー名 | タツモ（株） (TAZMO) |
| 型番 | |
| キーワード | |
| 仕様・特徴 | 対応wafer：２inch、cut wafer レジスト塗布 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=RO-121 |
