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スピンコータ

設備ID	RO-121
分類	リソグラフィ > レジスト処理装置成膜装置 > コーター（スピン、ディップ、スプレイなど）
装置名称	スピンコータ (Spin Coater)
設置機関	広島大学
設置場所	CR西棟１F
メーカー名	タツモ（株） (TAZMO)
型番
キーワード
仕様・特徴	対応wafer：２inch、cut wafer レジスト塗布