マスクレスアライナ
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-058 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > 光露光（マスクレス、直接描画） |
| 設備名称 | マスクレスアライナ (Maskless aligner) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | Heidelberg Instruments (Heidelberg Instruments) |
| 型番 | MLA150 |
| キーワード | 超高速直接描画（4インチ領域で約15分）、マスク作製（Cr、エマルジョン）、裏面アライメント機能 |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～8インチ 波長：405nm 、375nm 最小描画線幅：1µm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-058 |
