微細形状測定装置
| 設備ID | NR-703 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
| 装置名称 | 微細形状測定装置 (Microfigure Measurering Instrument) |
| 設置機関 | 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST) |
| 設置場所 | 奈良先端科学技術大学院大学物質棟 |
| メーカー名 | 小坂製作所 (Kosaka) |
| 型番 | ET200 |
| キーワード | 薄膜/ Thin films 段差計/ Step meter 二次元表面粗さ解析及び段差測定 |
| 仕様・特徴 | ・再現性 0.3nm以内 ・分解能 Z：0.1nm X：0.1μm |
