分光エリプソメーター
最終更新日：2024年4月9日
| 設備ID | NR-702 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > エリプソメーター |
| 設備名称 | 分光エリプソメーター (Spectroscopic Ellipsometer) |
| 設置機関 | 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST) |
| 設置場所 | 奈良先端科学技術大学院大学物質棟 |
| メーカー名 | 堀場ージョバンイボン (HORIBA JOBIN YVON) |
| 型番 | UVISEL ER AGMS-NSD |
| キーワード | 膜厚 光学定数 薄膜/ Thin films エリプソメーター/Ellipsometer |
| 仕様・特徴 | ・波長範囲: 0.6 eV 〜 6.0 eV（206 nm 〜2066 nm ） ・スポット径: 約 5 mm * 2 mm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NR-702 |
