微小デバイス特性評価装置
| 設備ID | NR-601 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 装置名称 | 微小デバイス特性評価装置 (Electron Beam Absorbed Current (EBAC) Characterization System nanoEBAC ) |
| 設置機関 | 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST) |
| 設置場所 | 奈良先端科学技術大学院大学物質棟 |
| メーカー名 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | NE4000 |
| キーワード | シリコン基材料・デバイス/ Silicon-based materials and devices 化合物半導体/ Compound semiconductor 電気特性評価/ Electrical characterization 電気特性、４端子計測、ebac |
| 仕様・特徴 | ・加速電圧: 500 V ～ 30 kV ・分解能: 15nm（加速電圧2kV、WD_15mm） ・プローブユニット：4 ・付属：半導体デバイス・アナライザ（B1500A） |
