二次イオン質量分析装置
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最終更新日：2024年8月29日
| 設備ID | NR-506 |
|---|---|
| 分類 | > |
| 設備名称 | 二次イオン質量分析装置 (Secondary Ion Mass Spectrometer (SIMS)) |
| 設置機関 | 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST) |
| 設置場所 | 奈良先端科学技術大学院大学物質棟 |
| メーカー名 | アルバック・ファイ (ULVAC-PHI) |
| 型番 | ADEPT-1010 |
| キーワード | 元素分析、高感度分析、深さプロファイル |
| 仕様・特徴 | ・一次イオンビーム：セシウム（Cs+）、酸素（O2+） ・加速電圧：500V～ ・質量分析噐：四重極型 ・絶縁物測定：帯電中和用電子銃 ・元素分析：水素を含む全元素 ・検出感度：ppm～ppb ・深さプロファイル：数十nm～数μm程度 ・5軸ステージ：X, Y, Z, Tilt, Rotation |
| 設備状況 | 共用を終了した設備です |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NR-506 |
