両面アライナ
| 設備ID | TU-056 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > 光露光（マスクアライナ） |
| 装置名称 | 両面アライナ (Double-side aligner) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | SUSS (SUSS) |
| 型番 | MA6/BA6 |
| キーワード | コンタクト露光、片面・両面アライメント、接合時のアライメント |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～6インチ 露光波長：ブロードバンド、i線 最小露光線幅：～0.7μm アライメント精度（片面）：～1μm アライメント精度（両面）：～3μm |
