両面アライナ
最終更新日：2022年6月6日
| 設備ID | TU-056 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > 光露光（マスクアライナ） |
| 設備名称 | 両面アライナ (Double-side aligner) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | SUSS (SUSS) |
| 型番 | MA6/BA6 |
| キーワード | コンタクト露光、片面・両面アライメント、接合時のアライメント |
| 仕様・特徴 | サンプルサイズ：小片～6インチ 露光波長：ブロードバンド、i線 最小露光線幅：～0.7μm アライメント精度（片面）：～1μm アライメント精度（両面）：～3μm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-056 |
