低真空分析走査電子顕微鏡
| 設備ID | NR-206 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 低真空分析走査電子顕微鏡 (Scanning Electron Microsope (SEM)) |
| 設置機関 | 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST) |
| 設置場所 | 奈良先端科学技術大学院大学物質棟 |
| メーカー名 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | SU6600 |
| キーワード | 走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy シリコン基材料・デバイス/ Silicon-based materials and devices 表面ナノ構造観察 |
| 仕様・特徴 | ・加速電圧: 500 V 〜 30 kV ・分解能: 1.2 nm（2次電子像、加速電圧30 kV） ・EDS検出器搭載 ・EBSD検出器搭載 ・低真空機能搭載 |
