多機能分析走査電子顕微鏡
| 設備ID | NR-201 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 多機能分析走査電子顕微鏡 (Multi-functional analysis Scanning Electron Microsope (SEM)) |
| 設置機関 | 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST) |
| 設置場所 | 奈良先端科学技術大学院大学物質棟 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JSM-IT800 |
| キーワード | シリコン基材料・デバイス/ Silicon-based materials and devices 走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy 表面ナノ構造 |
| 仕様・特徴 | ・加速電圧: 100 V 〜 30 kV ・分解能: 0.5 nm（2次電子像、加速電圧15 kV） ・EDS検出器搭載 ・EBSD検出器搭載 ・CL検出器搭載 ・低真空機能搭載 |
