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クリーンオーブン

設備ID	TU-055
分類	熱処理・ドーピング > 熱処理、レーザーアニールリソグラフィ > レジスト処理装置
装置名称	クリーンオーブン (Clean oven)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	ヤマト科学 (Yamato)
型番	DE62
キーワード	ウェハのベーク
仕様・特徴	サンプルサイズ：小片～8インチ