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ホットプレート

設備ID	TU-054
分類	熱処理・ドーピング > 熱処理、レーザーアニールリソグラフィ > レジスト処理装置
装置名称	ホットプレート (Hot plate)
設置機関	東北大学
設置場所	東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名	Shamal (Shamal)
型番	HHP-230SQ
キーワード	レジスト塗布後のベーク用
仕様・特徴	設定温度：40～400℃ 温度分布精度：±1℃