ホットプレート
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | TU-054 |
|---|---|
| 分類 |
熱処理・ドーピング > 熱処理、レーザーアニール リソグラフィ > レジスト処理装置 |
| 設備名称 | ホットプレート (Hot plate) |
| 設置機関 | 東北大学 |
| 設置場所 | 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム |
| メーカー名 | Shamal (Shamal) |
| 型番 | HHP-230SQ |
| キーワード | レジスト塗布後のベーク用 |
| 仕様・特徴 | 設定温度：40～400℃ 温度分布精度：±1℃ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=TU-054 |
