【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.03.28】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23KT0032

利用課題名 / Title

ナノ粒子の元素分布状態の調査

利用した実施機関 / Support Institute

京都大学 / Kyoto Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed

キーワード / Keywords

ナノ粒子,透過電子顕微鏡

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

田中 壮太郎

所属名 / Affiliation

シャープディスプレイテクノロジー株式会社

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

KT-403：モノクロメータ搭載低加速原子分解能分析電子顕微鏡

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

ディスプレイデバイスに用いるナノ粒子の元素分布状態を調査するため、200kV-STEM-EDSマッピング分析を行った。

実験 / Experimental

カーボン支持膜上に分散させたナノ粒子試料、および当社保有FIB装置にて薄片加工したナノ粒子を含む積層の断面試料に対して、ARM200Fを使い、EDSマッピング分析を行った。

結果と考察 / Results and Discussion

200kV-STEM-EDSマッピング分析結果を図(a)、(b)に示す。
カーボン支持膜上に分散させたナノ粒子試料の元素分布状態（被覆材料含む）を明瞭に確認できた。さらに、ナノ粒子を含む積層の断面試料でも元素分布状態を明瞭に確認できた。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

図　(a)支持膜上に分散させたナノ粒子試料、(b)ナノ粒子の積層試料　のEDSマッピング像

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

京大化研特定研究員の清村勤氏に技術補助していただき、ここに感謝の意を表します。

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件