【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.03.26】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23IT0058

利用課題名 / Title

光集積回路測定における不確定性の研究

利用した実施機関 / Support Institute

東京工業大学 / Tokyo Tech.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

電気特性評価/ Electrical characterization,フォトニクス/ Photonics

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

山口 和男

所属名 / Affiliation

キーサイト・テクノロジー株式会社

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

堀川剛,西山伸彦

利用形態 / Support Type

（主 / Main）共同研究/Joint Research（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

IT-036：FormFactor 300mm ウェハプローバ

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

光集積回路測定における測定不確定性を明らかにするために、東工大の300mmウェハプローバシステムを含めた複数の測定システムを用いてシステム毎に異なる測定値誤差を検証し、特定のルーチンとデバイスで誤差補正を検証する。同様の測定をキーサイト側でも行い、テスター間での測定互換性を検証する。

実験 / Experimental

東工大FormFactor社プローバにより、キーサイト基準チップに搭載された光集積素子特性を測定する。

結果と考察 / Results and Discussion

添付図に示す透過特性を有する回折格子を光I/Oに用いた光集積素子について測定を行い、東工大の300mmウェハプローバシステムによる光集積素子の測定確度についての基本的なデータを取得した。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

transmission vs wavelength

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件