【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.05.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23UT1136
利用課題名 / Title
エネルギー・環境関連物質測定用センシングプローブの開発
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
センサ/ Sensor,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
田口 良広
所属名 / Affiliation
慶應義塾大学理工学部システムデザイン工学科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
土井絢登
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
センサー用プローブであるPt細線に絶縁用のパリレンを等方的にコーティングすることを目的に、パリレン蒸着装置を利用した。本センサーはエネルギー・環境関連物質の熱輸送特性を高精度に測定するために用いる。
実験 / Experimental
パリレンコーターを用いて細線にパリレンを蒸着させた。
この装置を用いたパリレンCの蒸着方法は以下の手順で行った。
①熱分解室の温度を660℃に上昇させる。
②被膜材料を蒸着室内の試料台に置く。また原料であるパリレンCのダイマー粉末を原料気化室に入れる。
③外部のチラーで冷却させながら蒸着室内を真空引きする。
④ダイマー粉末は150℃で加熱砂礫化した後、660℃の熱分解室でモノマーガスとする。
⑤モノマーガスを被膜材料のおかれた蒸着室に導き，常温の被膜材料上で重合させ，成膜させる。
結果と考察 / Results and Discussion
液体試料の熱輸送性質測定に対して、プローブの電気絶縁性は測定精度に大きく影響する。電気絶縁膜としてパリレンを3 mmほどプローブに被覆した結果、Table１に示すように、高い電気絶縁性により標準白金と同程度の抵抗温度係数を有したプローブの開発に成功した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Table 1 測定に用いたプローブの抵抗温度係数
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件