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スピン乾燥機

    スピン乾燥機
    スピン乾燥機
機器ID TU-004
分類 表面処理・洗浄 > ウェット処理
装置名称 スピン乾燥機 (Spin dryer)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 東邦化成 (Toho Kasei)
型番 ZAA-4
キーワード 平置き式でウェハやフォトマスクの乾燥
仕様・特徴 サンプルサイズ:20mm角~6インチ
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