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表面形状測定器(段差計)
設備ID
TT-017
分類
膜厚・粒度測定 > 段差計
装置名称
表面形状測定器(段差計) (Stylus profiler)
設置機関
豊田工業大学
設置場所
クリーンルーム
メーカー名
KLAテンコール (KLA-Tencor)
型番
アルファーステップ IQZ
キーワード
サンプル外部形状を数nmの段差から測定可能。
仕様・特徴
触針段差計、材料は不問
φ4インチ程度
針先端が形状を沿って動けることが条件
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