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表面形状測定器(段差計)

設備ID TT-017
分類 膜厚・粒度測定 > 段差計
装置名称 表面形状測定器(段差計) (Stylus profiler)
設置機関 豊田工業大学
設置場所 クリーンルーム
メーカー名 KLAテンコール (KLA-Tencor)
型番 アルファーステップ IQZ
キーワード サンプル外部形状を数nmの段差から測定可能。
仕様・特徴 触針段差計、材料は不問
φ4インチ程度
針先端が形状を沿って動けることが条件
    表面形状測定器(段差計)
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