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リン酸槽

設備ID TU-003
分類 膜加工・エッチング > ウェットエッチング
表面処理・洗浄 > ウェット処理
装置名称 リン酸槽 (Draft chamber for SiN etching)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 - (-)
型番 -
キーワード SiNウェットエッチング
仕様・特徴 サンプルサイズ:小片~8インチ
    リン酸槽
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