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洗浄ドラフト一式

設備ID TT-008
分類 表面処理・洗浄 > ウェット処理
装置名称 洗浄ドラフト一式 (Clean draft chambers)
設置機関 豊田工業大学
設置場所 クリーンルーム
メーカー名 東朋テクノロジー (Toho Technology Co.)
型番 特注
キーワード 洗浄やウェットエッチングに利用。例えば
(1)アンモニア過水(APM)洗浄
(2)塩酸過水(HPM)洗浄
(3)希フッ酸(DHF)洗浄
(4)硫酸過水(SPM)洗浄
仕様・特徴 シリコン専用および化合物半導体専用のドラフト群
小型~太陽電池156mm角基板等
    洗浄ドラフト一式
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