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有機ドラフトチャンバー

    有機ドラフトチャンバー
    有機ドラフトチャンバー
機器ID TU-002
分類 表面処理・洗浄 > ウェット処理
リソグラフィ > レジスト処理装置
装置名称 有機ドラフトチャンバー (Draft Chamber for organic)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名
型番
キーワード 有機洗浄、レジスト剥離
仕様・特徴 サンプルサイズ:小片~8インチ
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