ダイシングソー [DAD322]
設備ID | NM-629 |
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分類 | 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ |
装置名称 | ダイシングソー [DAD322] (Dicing Saw [DAD322]) |
設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
設置場所 | NIMS千現地区 材料信頼性実験棟 |
メーカー名 | ディスコ (DISCO) |
型番 | DAD322 |
キーワード | ダイシング、小片化、チップ、ダイシング、スクライバ/ Dicing and scriber |
仕様・特徴 | ・用途:各種基板の小片化 ・切削刃:ダイヤモンドブレード ・切削範囲:XY:162mm以下 ・最大試料サイズ:φ6inch ・その他:オート/セミオート/マニュアルアライメント機能 ・その他:3Dマッピング機能 |