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ダイシングソー [DAD322]

設備ID NM-629
分類 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ
装置名称 ダイシングソー [DAD322] (Dicing Saw [DAD322])
設置機関 物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所 NIMS千現地区 材料信頼性実験棟
メーカー名 ディスコ (DISCO)
型番 DAD322
キーワード ダイシング、小片化、チップ、ダイシング、スクライバ/ Dicing and scriber
仕様・特徴 ・用途:各種基板の小片化
・切削刃:ダイヤモンドブレード
・切削範囲:XY:162mm以下
・最大試料サイズ:φ6inch
・その他:オート/セミオート/マニュアルアライメント機能
・その他:3Dマッピング機能
    ダイシングソー [DAD322]
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