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自動エリプソメータ

    自動エリプソメータ
    自動エリプソメータ
機器ID NM-625
分類 その他分析装置 > エリプソメーター
装置名称 自動エリプソメータ (Ellipsometer)
設置機関 物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所 NIMS千現地区 材料信頼性実験棟
メーカー名 ファイブラボ (five Lab)
型番 MARY-102FM
キーワード エリプソメータ、膜厚測定、屈折率、薄膜、マッピング、分布
仕様・特徴 ・用途:絶縁膜形成評価
・光源:632nm He-Neレーザー
・ビーム径:0.8mm
・入射角:50°,60°,70°
・最大試料サイズ:φ6inch
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