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3次元測定レーザー顕微鏡

    3次元測定レーザー顕微鏡
    3次元測定レーザー顕微鏡
機器ID NM-623
分類 光学顕微鏡 > その他
装置名称 3次元測定レーザー顕微鏡 (3D Laser Microscope)
設置機関 物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所 NIMS千現地区 材料信頼性実験棟
メーカー名 オリンパス (OLYMPUS)
型番 LEXT OLS4000
キーワード レーザー顕微鏡、微分干渉、形状測定、観察、計測
仕様・特徴 ・用途:非接触3次元形状観察
・計測・光源:405nm半導体レーザー
・分解能:XY:0.12μm/Z:0.01μm
・繰り返し性:XY:3σ=0.02μm,/Z:1σ=0.012μm(対物レンズ100倍時)
・観察モード:レーザー観察,白色光明視野,微分干渉観察
・試料サイズ:100mm角以下
機関代表メールアドレス ARIM_info=nanonet.go.jp ([=]を[@]にしてください)
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