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超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM)

設備ID AT-506
分類 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
状態分析(各種分光法(元素分析・振動モード・電子状態)を含む) > X線蛍光分光分析
装置名称 超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM)  (Scanning Electron Microscope with a Superconducting Tunnel Junction X-ray Detector (SC-SEM))
設置機関 産業技術総合研究所(AIST)
設置場所 産業技術総合研究所
メーカー名 ・検出器:産総研自主開発 ・顕微鏡:JEOL (・Detector: AIST Original ・SEM: JEOL)
型番 ・検出器:産総研自主開発 ・顕微鏡:JSM-IT800SHLs
キーワード 軽元素分布
仕様・特徴  高感度、高分解能の超伝導検出器を搭載した、蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡。
 電子線で試料上を走査する際に放出される蛍光X線を測定することにより、主に軽元素の分布状態を評価できる。半導体エネルギー分散型検出器、シンチレーション型反射電子検出器も搭載。試料を冷却しながらの計測も可能。大気非暴露搬送、装置内での昇華、割断、コーティングが可能。
・蛍光X線エネルギー範囲:
 40 eV-4 keV(超伝導)、200 eV- 20 keV(半導体)
・エネルギー分解能:
 ~7 eV@400 eV X-ray(超伝導)、
 <56 eV@C-Ka (半導体)
・計数率:200 kcps
・走査型電子顕微鏡:JEOL JSM-IT800SHLs
・加速器電圧範囲:10 V-30 kV
・最大サンプルサイズ:Φ100 ㎜、Φ10 ㎜(冷却時)
・2次電子最高空間分解能:0.6 nm程度@15 kV, 1.1 nm程度@1 kV
・試料最低冷却温度:-190℃以下
・機械式ヘリウム3冷凍機を用いて簡単に冷却でき、長時間の測定可能
    超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM)
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