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単波長エリプソメータ

設備ID AT-096
分類 膜厚・粒度測定 > エリプソメーター
装置名称 単波長エリプソメータ (Single Wavelength Ellipsometer)
設置機関 産業技術総合研究所(AIST)
設置場所 AISTつくば中央 2-12棟
メーカー名 溝尻光学工業所 (Mizojiri-opt)
型番 DHA-XA2M
キーワード 単波長エリプソメータ
He/Neレーザー
膜厚
屈折率
光学定数
仕様・特徴 ・型式:DHA-XA2M
・試料サイズ:4インチφ
・光源:He/Neレーザー(632.8nm)、LD830(830nm)
・測定方式:回転検光子法
・入射角度:55°~75°
    単波長エリプソメータ
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