単波長エリプソメータ
設備ID | AT-096 |
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分類 | 膜厚・粒度測定 > エリプソメーター |
装置名称 | 単波長エリプソメータ (Single Wavelength Ellipsometer) |
設置機関 | 産業技術総合研究所(AIST) |
設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
メーカー名 | 溝尻光学工業所 (Mizojiri-opt) |
型番 | DHA-XA2M |
キーワード | 単波長エリプソメータ He/Neレーザー 膜厚 屈折率 光学定数 |
仕様・特徴 | ・型式:DHA-XA2M ・試料サイズ:4インチφ ・光源:He/Neレーザー(632.8nm)、LD830(830nm) ・測定方式:回転検光子法 ・入射角度:55°~75° |