解析用PC(CAD及び近接効果補正用)
設備ID | AT-094 |
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分類 | 理論計算・シミュレーション > CAD |
装置名称 | 解析用PC(CAD及び近接効果補正用) (PC (PEC and CAD)) |
設置機関 | 産業技術総合研究所(AIST) |
設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
メーカー名 | ジェニシス (GenISys) |
型番 | BEAMER |
キーワード | CAD 近接効果補正 パターン分割最適処理 輪郭分離処理 |
仕様・特徴 | ・型式:BEAMER ・近接効果補正 ・パターン分割処理 ・輪郭分離処理 ・PSFシミュレーション |