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触針式段差計

設備ID AT-045
分類 膜厚・粒度測定 > 段差計
装置名称 触針式段差計 (Contact Profiler)
設置機関 産業技術総合研究所(AIST)
設置場所 AISTつくば中央 2-12棟
メーカー名 KLA テンコール (KLA-Tencor)
型番 Alpha-Step IQ
キーワード 膜厚
スタイラス
段差
表面粗さ
うねり
仕様・特徴 ・型式:Alpha-Step IQ
・試料サイズ:4インチ
・測定再現性:1σ≤8Å
・膜厚測定範囲:400 μm
・走査距離:最大10mm
・走査速度:2~200 μm /sec
・サンプリングレート:50, 100, 200, 500, 1000ポイント /sec
・測定レンジ:20, 400 μm
・針圧設定範囲:1~100 mg
    触針式段差計
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