触針式段差計
設備ID | AT-045 |
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分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
装置名称 | 触針式段差計 (Contact Profiler) |
設置機関 | 産業技術総合研究所(AIST) |
設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
メーカー名 | KLA テンコール (KLA-Tencor) |
型番 | Alpha-Step IQ |
キーワード | 膜厚 スタイラス 段差 表面粗さ うねり |
仕様・特徴 | ・型式:Alpha-Step IQ ・試料サイズ:4インチ ・測定再現性:1σ≤8Å ・膜厚測定範囲:400 μm ・走査距離:最大10mm ・走査速度:2~200 μm /sec ・サンプリングレート:50, 100, 200, 500, 1000ポイント /sec ・測定レンジ:20, 400 μm ・針圧設定範囲:1~100 mg |