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二次イオン質量分析装置(D-SIMS)

設備ID AT-038
分類 質量分析 > 四重極質量分析
装置名称 二次イオン質量分析装置(D-SIMS) (Secondary Ion Mass Spectrometer (D-SIMS))
設置機関 産業技術総合研究所(AIST)
設置場所 AISTつくば中央 2-12棟
メーカー名 アルバックファイ (ULVAC PHI)
型番 ADEPT-1010
キーワード SIMS
二次イオン質量分析
深さ元素分析
組成分析
同位体
仕様・特徴 ・型式:ADEPT-1010
・試料サイズ:50mmφ
・一次イオン: O2(加速電圧 0.25-8.0kV)、Cs(加速電圧 0.25-11.0kV)
・ビーム径:75μmφ以下
・二次イオン質量分析計:四重極型
・分析モード:質量スペクトル測定、ライン分析、デプスプロファイル、二次イオンイメージ像
    二次イオン質量分析装置(D-SIMS)
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