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クロスセクションポリッシャー(ALD付帯)

設備ID AT-032
分類 微小加工装置 > イオンミリング(断面加工)
装置名称 クロスセクションポリッシャー(ALD付帯) (Cross Section Polisher)
設置機関 産業技術総合研究所(AIST)
設置場所 AISTつくば中央 2-12棟
メーカー名 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番 IM4000
キーワード イオンミリング
アルゴンミリング
断面加工
フラットミリング
仕様・特徴 ・型式:IM4000
・試料サイズ:15mm(W)×15mm(D)×7mm(H)
・イオンガン:冷陰極ペニング型
・使用ガス:アルゴン
・加速電圧:1~6kV
・放電電圧:1.5kV
・断面ミリングレート:100~300µm/h (加速電圧6kV時) ※材料により異なる
・スイング角度:OFF~±40°
    クロスセクションポリッシャー(ALD付帯)
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