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インクジェットパターン形成装置

設備ID	BA-010
分類	その他加工装置 > その他
装置名称	インクジェットパターン形成装置 (Inkjet Printer)
設置機関	筑波大学
設置場所	共同研究棟C
メーカー名	SIJテクノロジ (SIJTechnology)
型番	STO50-TBD01
キーワード	インクジェット堆積装置
仕様・特徴	最小吐出量；0.1fl 最小ライン；0.6μm 分解能；0.1μm 位置精度；±0.2μm