1. ホーム>
  2. 共用設備検索>
  3. 電子線蒸着装置

電子線蒸着装置

    電子線蒸着装置
    電子線蒸着装置
機器ID BA-004
分類 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線)
装置名称 電子線蒸着装置 (Electron Beam Evaporator)
設置機関 筑波大学
設置場所 共同研究棟C
メーカー名 エイコー (eiko)
型番 EB-350T
キーワード 電子線蒸着装置
仕様・特徴 到達圧力:1.0×10-6 Pa以下
蒸発源:5 kW 5連EBガン
ルツボ容量:5 cc
基板ホルダー:φ3インチ
機関代表メールアドレス staff=u-tsukuba-arim.jp ([=]を[@]にしてください)
スマートフォン用ページで見る